1., 總結(jié)了微機(jī)械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動技術(shù)，推導(dǎo)了計及邊緣效應(yīng)的梳狀靜電驅(qū)動器靜電力公式。

2.他們驚訝地發(fā)現(xiàn)，懸臂彎曲的角度和液體的粘稠度具有線性關(guān)系，而懸臂的彎曲度可以通過電子設(shè)備讀出。

3.總結(jié)了微機(jī)械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動技術(shù)，推導(dǎo)了計及邊緣效應(yīng)的梳狀靜電驅(qū)動器靜電力公式。

4.總結(jié)了微機(jī)械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動技術(shù)，推導(dǎo)了計及邊緣效應(yīng)的梳狀靜電驅(qū)動器靜電力公式。