1.在圓形硅基底上采用電子束加熱蒸發制備了二氧化鈦薄膜。

2.本文用電子束蒸發的方法在K9玻璃上制備了azo薄膜。

3.最后利用電子束蒸發技術制備了薄膜樣品，樣品的光譜性能完全能夠滿足使用要求。

4.為實現電子束曝光機掃描場的線性畸變校正，設計了圖形發生器的成像系統，該系統包括硬件和軟件兩部分。

5.本論文利用電子束蒸發方法制備氧化鎢、氧化鎳薄膜的基礎上，研究了熱處理工藝對于薄膜電致變色性能的影響。